SHOWER HEAD란?

Shower head는 반도체 제조공정에 필요한 CVD 설비, dry Etchi 설비 등을 구성하는 핵심 부품으로, 반도체를 제조하는 Process Chamber 내에서 wafer의 상부 또는 하부에 장착되어 전극 역할을 함과 동시에 증착 및 식각 을 위한 Process Gas 분사 및 공정 온도를 제어하는 중요한 역할을 합니다. 특히 균일하고 정확한 Gas분사는 반도체의 품질과 수율에 큰 영향을 줍니다. 인성시스템은 초정밀 가공 기술력과 엄격한 품질관리 역량으로 정확하고 균일한 Hole 치수 그리고 우수한 조도를 통해 고객의 Needs를 만족시켜드릴 것입니다.